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导电薄膜热膨胀系数实时测试系统
  • 资料大小:

  • 更新时间:

    2008-12-18

  • 授权方式:

    共享学习

  • 资料格式:

    PDF

  • 软件等级:

  • 官方主页:

    http://www.ndt88.com

资料简介

开发了一种导电薄膜热膨胀系数的实时测试系统,即显微成像与数字图像相关方法相结合的测试系统.利用该系统在线实时测定了SnO2导电薄膜的热胀系数随温度变化的关系曲线,并进一步可得到膜与基体间应力的变化规律.结果表明:该系统能较准确地测出SnO2薄膜与陶瓷基体各向异性的热膨胀系数;根据试验结果及现有理论可以计算出基体与膜之间的最大应力以及基体内部的应力随温度的变化情况.

所属栏目

新材料 新工艺国家自然科学基金资助项目(10402022)

收稿日期

2008/12/182009/7/31

作者单位

王静:解放军军事交通学院基础部, 天津 300161
李洪来:河北工业大学机械工程学院, 天津 300130
刘美华:天津商业大学机械工程学院, 天津 300134
蔺金太:解放军军事交通学院基础部, 天津 300161

备注

王静(1969-),女,内蒙古呼和浩特人,副教授,博士.

引用该论文:

WANG Jing,LI Hong-lai,LIU Mei-hua,LIN Jin-tai.Real-Time Testing System of Thermal Expansion Coefficients for Conductive Thin Films[J].Materials for mechancial engineering,2010,34(1):58~60
王静,李洪来,刘美华,蔺金太.导电薄膜热膨胀系数实时测试系统[J].机械工程材料,2010,34(1):58~60


参考文献

【1】

BATCHELDER D N,SIMMONS R O.Lattice constants and thermal expansion of Si and of CaF2 between 6 K and 322 K[J].Chem Phys,1964,41:2324-2327.

【2】

DAVAZOGLOU D.Optical properties of SnO2 thin films grown by atmospheric pressure chemical vapour deposition oxidizing SnCl4[J].Thin Solid Films,1997,302:204-213.

【3】

CHAE J H,LEE J Y,KANG S W.Measurement of thermal expansion coefficient of poly-Si using microgauge sensors[J].Proc SPIE,1999,3242:222-226.

【4】

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【5】

PETERS W H,RANSON W F.Digital imaging technique in experimental stress analysis[J].Opt Eng,1982,21(3):427-431.

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【关键词】 SnO2导电薄膜 显微成像 热膨胀系数  王静 李洪来 刘美华 蔺金太

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