采用复合离子镀技术，在不同脉冲负偏压幅值下于304不锈钢表面制备TiCN薄膜，研究了负偏压幅值对薄膜成分、结构、表面粗糙度、显微硬度及摩擦磨损性能的影响。结果表明：随着负偏压幅值升高，钛、碳与氮元素的原子比以及碳与钛元素的原子比先增大后减小，薄膜表面的颗粒及针孔、凹坑等缺陷尺寸减小，数量减少，表面形貌得到改善；薄膜主要由TiCN相组成，随着负偏压幅值增大出现（111）晶面择优取向，且薄膜的显微硬度先增大后减小，并在负偏压幅值为300 V时达到最大，为2 690 HV；薄膜的摩擦磨损性能优于基体的，随着负偏压幅值增加，薄膜的摩擦因数不断降低，在负偏压幅值为300 V时约为0.355，此时薄膜的摩擦磨损性能最优。
所属栏目
试验研究辽宁省教育厅科学技术研究项目（LJYL007）
收稿日期
2015/10/182016/11/11
作者单位
任鑫:辽宁工程技术大学材料科学与工程学院, 阜新 123000
赵瑞山:辽宁工程技术大学材料科学与工程学院, 阜新 123000
黄美东:天津师范大学物理与材料科学学院, 天津 300387
张翀翊:辽宁工程技术大学材料科学与工程学院, 阜新 123000
王乾宝:辽宁工程技术大学机械工程学院, 阜新 123000
备注
任鑫(1974-),男,辽宁锦州人,教授,博士。
引用该论文:
REN Xin,ZHAO Rui-shan,HUANG Mei-dong,ZHANG Chong-yi,WANG Qian-bao.Effects of Pulsed Negative Bias Amplitudes on Structure and Properties of TiCN Film Prepared by Compound Ion Plating Technology[J].Materials for mechancial engineering,2017,41(1):56～60
任鑫,赵瑞山,黄美东,张翀翊,王乾宝.脉冲负偏压幅值对复合离子镀制备TiCN薄膜结构和性能的影响[J].机械工程材料,2017,41(1):56～60
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