利用非对称双极脉冲磁控溅射技术在20CrNiMo钢表面制备了TiN/ZrN多层薄膜, 利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察了薄膜的截面和表面形貌, 用划痕仪测试了薄膜与基体的结合力, 通过球-盘摩擦磨损试验机对薄膜的摩擦学性能进行了研究。结果表明: 制备的TiN/ZrN多层薄膜厚度约为2.1 μm, 薄膜均匀且致密, 表面粗糙度为13.63 nm;薄膜与基体结合较牢固, 临界载荷达到51.0 N;薄膜具有优良的减摩性, 摩擦因数为0.16, 较基体20CrNiMo钢的0.33明显减小, 使该钢的耐磨性能得到提高。
所属栏目
国家自然科学基金资助项目(50874018)
收稿日期
2010/6/202011/3/23
作者单位
陈飞:北京石油化工学院材料科学与工程系, 北京 102617北京科技大学材料科学与工程学院, 北京 100083
陈家庆:北京石油化工学院材料科学与工程系, 北京 102617
陈良贤:北京科技大学材料科学与工程学院, 北京 100083
李成明:北京科技大学材料科学与工程学院, 北京 100083
备注
陈飞(1971-), 男, 河北大名人, 副教授, 博士。
引用该论文:
CHEN Fei,CHEN Jia-qing,CHEN Liang-xian,LI Cheng-ming.Morphology and Tribological Properties of TiN/ZrN Multilayer Films on 20CrNiMo Steel Surface Prepared by Magnetron Sputtering[J].Materials for mechancial engineering,2011,35(7):8～10
陈飞,陈家庆,陈良贤,李成明.20CrNiMo钢表面磁控溅射制备TiN/ZrN多层薄膜的形貌及摩擦学性能[J].机械工程材料,2011,35(7):8～10
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