采用线性离子束镀膜技术在YG6硬质合金上沉积氢化类金刚石(α-C∶H)薄膜,通过原子力显微镜、Raman光谱仪、球磨仪和洛氏压力仪等研究了基体温度对α-C∶H薄膜微观结构、表面形貌、耐磨性以及膜基结合性能的影响.结果表明:随着基体温度升高,薄膜中sp3键含量和耐磨性能先降低后提高,表面粗糙度先减小后增大;基体温度在80 ℃时,制备的薄膜最为光滑,而sp3键含量最低,薄膜耐磨性最差;基体温度对膜基结合性能没有明显的影响.
所属栏目
试验研究国家自然科学基金资助项目(51275247)
收稿日期
2013/11/282014/12/30
作者单位
黄雷:南京理工大学机械工程学院, 南京 210094
袁军堂:南京理工大学机械工程学院, 南京 210094
汪振华:南京理工大学机械工程学院, 南京 210094
于斌斌:南京理工大学机械工程学院, 南京 210094
备注
黄雷(1990-),男,江苏启东人,博士研究生.
引用该论文:
HUANG Lei,YUAN Jun-tang,WANG Zhen-hua,YU Bin-bin.Influences of Substrate Temperature on Structure and Properties of α-C∶H Thin Film Prepared by Linear Ion Source[J].Materials for mechancial engineering,2015,39(7):31～34
黄雷,袁军堂,汪振华,于斌斌.基体温度对线性离子束技术制备α-C∶H薄膜结构和性能的影响[J].机械工程材料,2015,39(7):31～34
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