为了得到较为优化的射频空心阴极等离子体放电参数, 提高放电气体分布的均匀性, 以改善材料表面改性的均匀性, 构建了射频空心阴极等离子体放电气体流动的数学模型, 应用Fluent软件对放电气体分布进行有限元模拟, 得出了较为优化的放电参数; 另选择一组放电参数对电池隔膜进行表面改性试验, 通过测试电池隔膜的最大吸碱量, 得出较优的放电参数。结果表明: 试验优选放电参数和模拟所得出的优选放电参数较为吻合, 证明了有限元模拟的可行性与实用性; 得出的较优放电参数是阳极孔径为8 mm, 进气流量为5 L·min-1, 试样距离为20 mm。

所属栏目

物理模拟与数值模拟科技部2010年科研院所技术开发研究专项资助项目(2010EG111015); 2012年江苏省“青蓝工程”中青年学术带头人资助项目

收稿日期

2012/4/82013/8/28

作者单位

温贻芳:苏州工业职业技术学院, 苏州215104
陈闯:苏州大学, 苏州215021
芮延年:苏州大学, 苏州215021
王红卫:苏州市奥普斯等离子体科技有限公司, 苏州 215000

备注

温贻芳(1975-), 女, 四川资中人, 副教授, 博士。

引用该论文:

WEN Yi-fang,CHEN Chuang,RUI Yan-nian,WANG Hong-wei.FEM Simulation of Discharge Gas Distribution of Radio Frequency Hollow Cathode Plasma[J].Materials for mechancial engineering,2013,37(11):101～106
温贻芳,陈闯,芮延年,王红卫.射频空心阴极等离子体放电气体分布的有限元模拟[J].机械工程材料,2013,37(11):101～106

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